发明授权
- 专利标题： Pattern formation method and surface treatment agent
- 专利标题（中）： 一种图案形成方法和表面处理剂
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申请号： EP97115726.8申请日： 1997-09-10
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公开(公告)号： EP0837369B1公开(公告)日： 2001-12-19
- 发明人: Endo, Masayuki , Ohsaki, Hiromi
- 申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. , Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 申请人地址： 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka 571-0050 JP
- 专利权人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.,Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.,Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka 571-0050 JP
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
- 优先权： JP27329296 19961016; JP1053397 19970123
- 主分类号： G03F7/075
- IPC分类号： G03F7/075
公开/授权文献
- EP0837369A1 Pattern formation method and surface treatment agent 公开/授权日：1998-04-22
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