发明授权
- 专利标题： METHOD FOR FABRICATION OF DISCRETE DYNODE ELECTRON MULTIPLIERS
- 专利标题（中）： 用于生产电子倍增器具有分立倍增
-
申请号： EP96925463.0申请日： 1996-07-25
-
公开(公告)号： EP0846332B1公开(公告)日： 2002-04-24
- 发明人: THEN, Alan, M. , BENTLEY, Scott, T.
- 申请人： Center for Advanced Fiberoptic Applications (Cafa)
- 申请人地址： P.O. Box 663 Southbridge, MA 01550-0663 US
- 专利权人： Center for Advanced Fiberoptic Applications (Cafa)
- 当前专利权人： Center for Advanced Fiberoptic Applications (Cafa)
- 当前专利权人地址： P.O. Box 663 Southbridge, MA 01550-0663 US
- 代理机构： Brunner, Michael John
- 优先权： US506611 19950725
- 国际公布： WO9705640 19970213
- 主分类号： H01J43/18
- IPC分类号： H01J43/18 ; H01J9/12
摘要：
A method for manufacturing a discrete dynode electron multiplier includes employing micromachining and thin film techniques to produce tapered apertures in an etchable substrate, bonding the substrates together and activating the internal surfaces of the etched substrate using chemical vapor deposition or oxidizing and nitriding techniques.
公开/授权文献
信息查询
