发明授权
- 专利标题： Constant-temperature liquid-circulating apparatus
- 专利标题（中）： 液体循环恒温装置
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申请号： EP98300742.8申请日： 1998-02-02
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公开(公告)号： EP0858100B1公开(公告)日： 2004-04-28
- 发明人: Watanabe, Mitsuhiro
- 申请人： SMC CORPORATION
- 申请人地址： 16-4, Shinbashi 1-chome Minato-ku Tokyo 105 JP
- 专利权人： SMC CORPORATION
- 当前专利权人： SMC CORPORATION
- 当前专利权人地址： 16-4, Shinbashi 1-chome Minato-ku Tokyo 105 JP
- 代理机构： Findlay, Alice Rosemary
- 优先权： JP4008697 19970207
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00
公开/授权文献
- EP0858100A1 Constant-temperature liquid-circulating apparatus 公开/授权日：1998-08-12
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IPC分类:
