发明授权
- 专利标题： Procédé et dispositif pour la réalisation de produits chimiques de haute pureté pour l'industrie micro-électronique
- 专利标题（英）： Process and device for producing chemical products of high purity for the microelectronic industry
- 专利标题（中）： 用于生产高纯度化学品的微电子行业的方法和装置
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申请号： EP98400693.2申请日： 1998-03-25
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公开(公告)号： EP0870729B1公开(公告)日： 2006-07-26
- 发明人: Laederich, Thierry , Dulphy, Hervé
- 申请人： Air Liquide Electronics Systems
- 申请人地址： 6 Rue Cognacq Jay 75007 Paris FR
- 专利权人： Air Liquide Electronics Systems
- 当前专利权人： Air Liquide Electronics Systems
- 当前专利权人地址： 6 Rue Cognacq Jay 75007 Paris FR
- 代理机构： Vesin, Jacques
- 优先权： FR9704499 19970411
- 主分类号： C01C1/02
- IPC分类号： C01C1/02 ; C01B7/07 ; C01B7/19
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