发明授权
EP0871843B1 MOUNTING MEMBER AND METHOD FOR CLAMPING A FLAT THIN CONDUCTIVE WORKPIECE
失效
安装元件和方法夹紧扁平，薄，导电工件
- 专利标题： MOUNTING MEMBER AND METHOD FOR CLAMPING A FLAT THIN CONDUCTIVE WORKPIECE
- 专利标题（中）： 安装元件和方法夹紧扁平，薄，导电工件
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申请号： EP95936873.9申请日： 1995-10-17
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公开(公告)号： EP0871843B1公开(公告)日： 2003-05-14
- 发明人: WHITE, Nicholas, R.
- 申请人： Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- 申请人地址： 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 US
- 专利权人： Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- 当前专利权人： Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- 当前专利权人地址： 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 US
- 代理机构： Cline, Roger Ledlie
- 优先权： US323764 19941017
- 国际公布： WO96013058 19960502
- 主分类号： F28F7/00
- IPC分类号： F28F7/00 ; H01L21/00
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