发明授权
- 专利标题： Cleaning solution for electronic materials and method for using the same
- 专利标题（中）： 电子材料的清洁溶液及其使用方法
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申请号： EP98124184.7申请日： 1998-12-21
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公开(公告)号： EP0924970B1公开(公告)日： 2003-03-19
- 发明人: Morita, Hiroshi, c/o Kurita Water Ind., Ltd. , Ida, Junichi, c/o Kurita Water Ind., Ltd. , Mizuniwa, Tetsuo, c/o Kurita Water Ind., Ltd.
- 申请人： KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
- 申请人地址： 4-7, Nishi-Shinjuku 3-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160 JP
- 专利权人： KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
- 当前专利权人： KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
- 当前专利权人地址： 4-7, Nishi-Shinjuku 3-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160 JP
- 代理机构： Bryer, Kenneth Robert
- 优先权： JP35340397 19971222; JP1393898 19980127
- 主分类号： H05K3/26
- IPC分类号： H05K3/26 ; C11D7/06 ; C11D7/54 ; C11D3/39 ; C11D7/18
公开/授权文献
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