发明授权
EP0930638B1 Scanning electron microscope and image forming method
失效
Rasterelekronenmikroskop和图像形成方法
- 专利标题： Scanning electron microscope and image forming method
- 专利标题（中）： Rasterelekronenmikroskop和图像形成方法
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申请号： EP99103918.1申请日： 1991-10-10
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公开(公告)号： EP0930638B1公开(公告)日： 2003-05-07
- 发明人: Todokoro, Hideo , Takamoto, Kenji , Otaka, Tadashi
- 申请人： Hitachi, Ltd.
- 申请人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101-8010 JP
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101-8010 JP
- 代理机构： Beetz & Partner Patentanwälte
- 优先权： JP27225890 19901012
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J37/30 ; G01B15/00 ; G01B15/04
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