- 专利标题： Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen
- 专利标题（英）： Device for producing an atom -or radical beam
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申请号： EP99102070.2申请日： 1999-02-02
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公开(公告)号： EP0938251A2公开(公告)日： 1999-08-25
- 发明人: Tschersich, Karl G., Dr. , Fleischhauer, Johannes
- 申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 申请人地址： Wilhelm-Johnen-Strasse 52425 Jülich DE
- 专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 当前专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 当前专利权人地址： Wilhelm-Johnen-Strasse 52425 Jülich DE
- 代理机构： Paul, Dieter-Alfred, Dipl.-Ing.
- 优先权： DE19806692 19980218
- 主分类号： H05H3/02
- IPC分类号： H05H3/02
摘要：
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen durch thermische Dissoziation eines Gases, mit einem Rohr (1), das an seinem einen Ende an eine Gasquelle (2) anschließbar ist und an seinem anderen Ende eine Gasaustrittsöffnung (3) aufweist, und einer Heizvorrichtung (4), um das Rohr (1) zu erwärmen, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß die Heizvorrichtung (4) wenigstens einen Heizdraht (5) zur Erwärmung des Rohrs (1) durch Wärmestrahlung aufweist und der Heizdraht (5) das Rohr (1) im Bereich der Gasaustrittsöffnung (3) unter Herstellung eines elektrischen Kontakts berührt, im übrigen aber mit Abstand umgibt.
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