发明授权
- 专利标题： Method for producing nitrogen trifluoride by gas-solid reaction
- 专利标题（中）： 一种通过气固反应制备三氟化氮处理
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申请号： EP99109947.4申请日： 1999-05-20
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公开(公告)号： EP0959040B1公开(公告)日： 2003-08-06
- 发明人: Tokunaga, Nobuyuki, Chemical Research Center , Moroi, Shirou, Chemical Research Center , Kojima, Keizo, Chemical Research Center
- 申请人： Central Glass Company, Limited
- 申请人地址： 5253 Oaza Okiube Ube-shi, Yamaguchi 755-0001 JP
- 专利权人： Central Glass Company, Limited
- 当前专利权人： Central Glass Company, Limited
- 当前专利权人地址： 5253 Oaza Okiube Ube-shi, Yamaguchi 755-0001 JP
- 代理机构： Manitz, Finsterwald & Partner GbR
- 优先权： JP14065398 19980522; JP3033399 19990208
- 主分类号： C01B21/083
- IPC分类号： C01B21/083
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