发明公开
EP1023634A4 IMPROVED THERMOSETTING ANTI-REFLECTIVE COATINGS AT DEEP ULTRAVIOLET
有权
改进的反反射涂层深热固性ULTRAVIOLETT
- 专利标题： IMPROVED THERMOSETTING ANTI-REFLECTIVE COATINGS AT DEEP ULTRAVIOLET
- 专利标题（中）： 改进的反反射涂层深热固性ULTRAVIOLETT
-
申请号： EP98952017申请日： 1998-09-28
-
公开(公告)号： EP1023634A4公开(公告)日： 2002-02-13
- 发明人: MEADOR JIM D , GUERRERO DOUGLAS J , SHAO XIE , KRISHNAMURTHY VANDANA
- 申请人： BREWER SCIENCE INC
- 专利权人： BREWER SCIENCE INC
- 当前专利权人： BREWER SCIENCE INC
- 优先权： US94016997 1997-09-30
- 主分类号： G03F7/11
- IPC分类号： G03F7/11 ; C08F8/00 ; C08F220/32 ; C08F283/10 ; C09D133/06 ; G03F7/09 ; G03C1/492 ; G03C1/815
摘要：
Anti-reflective coating compositions having improved etchrate, inter alia, are prepared from certain high molecular weight polymers and copolymers, particularly glycidyl methacrylate.
信息查询
IPC分类:
