发明授权
- 专利标题： Scanning electron microscope
- 专利标题（中）： 扫描电子显微镜
-
申请号： EP00109452.3申请日： 1993-10-15
-
公开(公告)号： EP1028452B1公开(公告)日： 2012-03-28
- 发明人: Todokoro, Hideo , Otaka, Tadashi
- 申请人： Hitachi, Ltd.
- 申请人地址： 6 Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8010 JP
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： 6 Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8010 JP
- 代理机构： Strehl Schübel-Hopf & Partner
- 优先权： JP30620592 19921020
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J37/244
公开/授权文献
- EP1028452A3 Scanning electron microscope 公开/授权日：2006-05-03
信息查询
