发明授权
EP1041379B1 Apparatus and method for detecting defects in the surface of a workpiece
有权
装置和方法用于在工件的表面上检测缺陷
- 专利标题： Apparatus and method for detecting defects in the surface of a workpiece
- 专利标题（中）： 装置和方法用于在工件的表面上检测缺陷
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申请号： EP00302745.5申请日： 2000-03-31
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公开(公告)号： EP1041379B1公开(公告)日： 2006-08-23
- 发明人: Bills, Richard Earl
- 申请人： ADE Optical Systems Corporation
- 申请人地址： 9625 Southern Pine Boulevard Charlotte, NorthCarolina 28273 US
- 专利权人： ADE Optical Systems Corporation
- 当前专利权人： ADE Optical Systems Corporation
- 当前专利权人地址： 9625 Southern Pine Boulevard Charlotte, NorthCarolina 28273 US
- 代理机构： MacDougall, Donald Carmichael
- 优先权： US127144P 19990331
- 主分类号： G01N21/95
- IPC分类号： G01N21/95
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