发明授权
- 专利标题: Micro-electromechanical device, liquid discharge head, and method of manufacture therefor
- 专利标题(中): 微机电装置,其制备方法的液体喷出头和方法
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申请号: EP00111683.9申请日: 2000-05-31
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公开(公告)号: EP1057637B1公开(公告)日: 2007-09-12
- 发明人: Ozaki, Teruo , Yamanaka, Akihiro , Imanaka, Yoshiyuki , Kubota, Masahiko
- 申请人: CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址: 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku Tokyo JP
- 专利权人: CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人: CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址: 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku Tokyo JP
- 代理机构: TBK-Patent
- 优先权: JP15864699 19990604
- 主分类号: B41J2/14
- IPC分类号: B41J2/14 ; B41J2/16
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