发明授权
- 专利标题： SENSOR IN DÜNNFILMBAUWEISE
- 专利标题（英）： Thin film structured sensor
- 专利标题（中）： 传感器薄膜建设
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申请号： EP99914410.8申请日： 1999-02-11
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公开(公告)号： EP1060365B1公开(公告)日： 2002-08-14
- 发明人: TREUTLER, Christoph , MAREK, Jiri , KOBER, Hans-Friedemann , STEINER, Werner
- 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权： DE19806211 19980216
- 国际公布： WO9941573 19990819
- 主分类号： G01F1/692
- IPC分类号： G01F1/692 ; G01F1/684
摘要：
The invention relates to a thin film structured sensor, having a dielectric carrier layer (21) on which a layer (23) containing platinum is arranged and at least a top layer (25) is arranged thereon. At least one surface of the layer (23) containing platinum is fitted with an additional adhesive layer (22) made of silicon, at least in certain areas.
公开/授权文献
- EP1060365A1 SENSOR IN DÜNNFILMBAUWEISE 公开/授权日：2000-12-20
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