发明授权
- 专利标题： Evacuating apparatus
- 专利标题（中）： 装置用于抽空的真空系统
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申请号： EP00124826.9申请日： 2000-11-14
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公开(公告)号： EP1101942B1公开(公告)日： 2007-03-21
- 发明人: Ando, Kiyoshi, Tsu Plant of Teijin Seiki Co., Ltd.
- 申请人： Teijin Seiki Co., Ltd.
- 申请人地址： 3-1, Nishishinbashi 3-chome, Minato-ku Tokyo 105-8628 JP
- 专利权人： Teijin Seiki Co., Ltd.
- 当前专利权人： Teijin Seiki Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 3-1, Nishishinbashi 3-chome, Minato-ku Tokyo 105-8628 JP
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
- 优先权： JP32627699 19991117; JP2000213110 20000713
- 主分类号： F04C23/00
- IPC分类号： F04C23/00 ; F04C18/16
公开/授权文献
- EP1101942A3 Evacuating apparatus 公开/授权日：2002-05-15
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