发明授权
EP1102947B1 CHEMICAL DELIVERY SYSTEM HAVING PURGE SYSTEM UTILIZING MULTIPLE PURGE TECHNIQUES
有权
供体设备以使用不同技术的出血抽气系统CHEMICALS
- 专利标题： CHEMICAL DELIVERY SYSTEM HAVING PURGE SYSTEM UTILIZING MULTIPLE PURGE TECHNIQUES
- 专利标题（中）： 供体设备以使用不同技术的出血抽气系统CHEMICALS
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申请号： EP99928420.1申请日： 1999-06-04
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公开(公告)号： EP1102947B1公开(公告)日： 2009-07-29
- 发明人: GREGG, John, N. , NOAH, Craig, M. , JACKSON, Robert, M.
- 申请人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- 申请人地址： 7 Commerce Drive Danbury, CT 06810 US
- 专利权人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- 当前专利权人地址： 7 Commerce Drive Danbury, CT 06810 US
- 代理机构： Viering, Jentschura & Partner
- 优先权： US88405P 19980608; US105423 19980626; US91191P 19980630; US14373 19980710; US133936P 19990513; US134584P 19990517
- 国际公布： WO1999064780 19991216
- 主分类号： F17C13/00
- IPC分类号： F17C13/00
公开/授权文献
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