发明公开
- 专利标题： OPTISCHER DETEKTOR MIT EINER FILTERSCHICHT AUS PORÖSEM SILIZIUM UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAZU
- 专利标题（英）： Optical detector with a filter layer made of porous silicon and method for the production thereof
- 专利标题（中）： 具有多孔硅和方法的过滤层TO光电检测
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申请号： EP99967910.3申请日： 1999-12-24
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公开(公告)号： EP1151479A2公开(公告)日： 2001-11-07
- 发明人: MARSO, Michel , ARENS-FISCHER, Rüdiger , HUNKEL, Dirk
- 申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 申请人地址： Wilhelm-Johnen-Strasse 52425 Jülich DE
- 专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 当前专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 当前专利权人地址： Wilhelm-Johnen-Strasse 52425 Jülich DE
- 代理机构： Möbus, Steffen
- 优先权： DE19900879 19990112
- 国际公布： WO0041456 20000720
- 主分类号： H01L31/0216
- IPC分类号： H01L31/0216 ; H01L31/028
摘要：
A optical silicon-based detector with a porous filter layer that has a laterally modifiable filter effect, comprising a plurality of integrated light-receiver contacts. The invention also relates to a method for the production of an optical detector by creating an insulating layer on the porous filter layer and by providing active filter surfaces.
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