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EP1166844A3 Abtrennung von Metallschloriden aus gasförmigen Reaktionsgemischen der Chlorsilan-Synthese 审中-公开
从氯硅烷合成的气态反应混合物的金属氯化物去除

Abtrennung von Metallschloriden aus gasförmigen Reaktionsgemischen der Chlorsilan-Synthese
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abtrennung von Metallchloriden aus dem bei der Umsetzung von technischem Silizium mit Chlorwasserstoff entstehenden heißen, gasförmigen Reaktionsgemisch (Rohgas), bei dem man das Rohgas in eine im Kreis geführte Suspension von Metallchloriden in Chlorsilanen einleitet, die Temperatur des Rohgases von dessen Einleitungstemperatur bis zur Temperatur des bei der Einleitung entstehenden dreiphasigen Gas/Flüssigkeits/Feststoff-Gemisches zum Teil durch direkte, durch Verdampfung von Chlorsilanen bewirkte Kühlung und zum Teil durch indirekte Kühlung absenkt, einen Teil der entstandenen Suspension von Metallchloriden in flüssigen Chlorsilanen zur Einleitungsstelle des Rohgases zurückführt und aus dem anderen Teil der Suspension die Metallchloride abtrennt. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Apparat (oder Kondensator), in dem das Rohgas zur Abscheidung von Metallchloriden und Chlorsilanen in eine Suspension von Metallchloriden in Chlorsilanen eingeleitet wird, sowie eine Filter- und Lösevorrichtung zur Trennung der Suspension von Metallchloriden in Chlorsilanen und zur Weiterbehandlung der abgetrennten Metallchloride.
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