发明授权
EP1243611B1 Composited particles and aqueous dispersions for chemical mechanical polishing
有权
复合颗粒和用于化学机械研磨用水系分散体
- 专利标题： Composited particles and aqueous dispersions for chemical mechanical polishing
- 专利标题（中）： 复合颗粒和用于化学机械研磨用水系分散体
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申请号： EP02010940.1申请日： 2000-11-21
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公开(公告)号： EP1243611B1公开(公告)日： 2006-02-08
- 发明人: Nishimoto, Kazuo , Hattori, Masayuki , Kawahashi, Nobuo
- 申请人： JSR Corporation
- 申请人地址： 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku Tokyo 104-0045 JP
- 专利权人： JSR Corporation
- 当前专利权人： JSR Corporation
- 当前专利权人地址： 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku Tokyo 104-0045 JP
- 代理机构： TBK-Patent
- 优先权： JP33150499 19991122; JP33150599 19991122
- 主分类号： C08J3/00
- IPC分类号： C08J3/00 ; C09G1/02 ; H01L21/304 ; C08J3/215 ; C08K3/22
公开/授权文献
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