发明授权
- 专利标题： Improved sample inspection system
- 专利标题（中）： 改进了样品检测系统
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申请号： EP02012062.2申请日： 1998-09-18
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公开(公告)号： EP1265063B1公开(公告)日： 2005-01-26
- 发明人: Vaez-Iravani, Mehdi , Stokowski, Stanley , Zhao, Guoheng
- 申请人： KLA-Tencor Corporation
- 申请人地址： 160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 US
- 专利权人： KLA-Tencor Corporation
- 当前专利权人： KLA-Tencor Corporation
- 当前专利权人地址： 160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 US
- 代理机构： Martin, Philip John
- 优先权： US933771 19970919
- 主分类号： G01N21/00
- IPC分类号： G01N21/00 ; G01N21/86 ; G01B11/24 ; G01N21/88 ; G01N21/95 ; G01B7/34
公开/授权文献
- EP1265063A1 Improved sample inspection system 公开/授权日：2002-12-11
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