发明公开
- 专利标题： Untersuchungssystem zum teilchenoptischen Abbilden eines Objekts, Ablenkvorrichtung für geladene Teilchen sowie Verfahren zum Betrieb derselben
- 专利标题（英）： Inspecting system for particle-optical imaging of an object, deflection device for charged particles and method for operating the same
- 专利标题（中）： 用于对物体成像的粒子，偏转带电粒子的检查系统，以及它们的操作方法
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申请号： EP02014643.7申请日： 2002-07-02
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公开(公告)号： EP1280184A3公开(公告)日： 2004-03-31
- 发明人: Kienzle, Oliver, Dr. , Stenkamp, Dirk, Dr. , Steigerwald, Michael, Dr. , Knippelmeyer, Rainer, Dr. , Haider, Max, Dr. , Müller, Heiko, Dr. , Uhlemann, Stephan, Dr.
- 申请人： Carl Zeiss SMT AG
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Schorr, Frank, Dr.
- 优先权： DE10131931 20010702; DE10161526 20011214
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J37/285 ; H01J37/147
摘要：
Es wird ein Untersuchungssystem zum Abbilden eines in einer Objektebene anordenbaren Objektes vorgeschlagen, umfassend eine Beleuchtungseinrichtung (31), um einem begrenzten Feld des Objekts (3) Energie derart zuzuführen, daß geladene Teilchen von Orten des Feldes austreten, wobei das Feld in der Ebene des Objektes (3) verlagerbar ist, eine Deflektoreinrichtung (23, 24) zur Bereitstellung eines änderbaren Ablenkfeldes, um an Orten eines auswählbaren Bereiches (7) des Objektes (3) austretende geladene Teilchen durch einen festen vorbestimmten Strahlquerschnitt (27) zu führen, und einen derart im Strahlengang angeordneten ortsauflösenden Detektor (5), daß die geladenen Teilchen nach Durchlaufen der ersten Deflektoreinrichtung (23, 24) auf diesen treffen, wobei von verschiedenen Orten des Bereiches (7) austretende Teilchen auf den Austrittsorten zugeordnete verschiedene Orte des ortsauflösenden Detektors (5) abgebildet werden.
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