发明授权
- 专利标题： Procédé de report de couches minces semi-conductrices à partir d'une plaquette donneuse.
- 专利标题（英）： Process for transfering semiconductor thin layers from a donor wafer.
- 专利标题（中）： 半导体薄膜从胶片源传送的方法。
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申请号： EP02293182.8申请日： 2002-12-20
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公开(公告)号： EP1324385B1公开(公告)日： 2012-05-23
- 发明人: Letertre, Fabrice , Maurice, Thibaut
- 申请人： Soitec
- 申请人地址： Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques 38190 Bernin FR
- 专利权人： Soitec
- 当前专利权人： Soitec
- 当前专利权人地址： Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques 38190 Bernin FR
- 代理机构： Le Forestier, Eric
- 优先权： FR0116713 20011221
- 主分类号： H01L21/18
- IPC分类号： H01L21/18 ; H01L21/20 ; H01L21/762 ; H01L29/12
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