发明授权
- 专利标题： SEAL MEMBER, AND SUBSTRATE STORAGE CONTAINER USING THE SEAL MEMBER
- 专利标题（中）： 密封和基板收纳容器与密封
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申请号： EP01999972.1申请日： 2001-12-07
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公开(公告)号： EP1341226B1公开(公告)日： 2013-06-12
- 发明人: YAJIMA, Toshitsugu, c/o Niigata Polymer Co., Ltd. , KAMADA, Toshiyuku, c/o Tokyo Plant
- 申请人： Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
- 申请人地址： 1-9, Kanda-Sudacho Chiyoda-ku Tokyo 101-0041 JP
- 专利权人： Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
- 当前专利权人： Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
- 当前专利权人地址： 1-9, Kanda-Sudacho Chiyoda-ku Tokyo 101-0041 JP
- 代理机构： Felder, Peter
- 优先权： JP2000372527 20001207
- 国际公布： WO2002047154 20020613
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; B65D85/90 ; F16J15/10
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