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发明公开
EP1536253A1 Method of manufacturing a branch optical waveguide 审中-公开
Verfahren zur Herstellung eines verzweigten optischen Wellenleiters

  • 专利标题： Method of manufacturing a branch optical waveguide
  • 专利标题（中）： Verfahren zur Herstellung eines verzweigten optischen Wellenleiters
  • 申请号： EP04255165.5
    申请日： 2004-08-26
  • 公开(公告)号： EP1536253A1
    公开(公告)日： 2005-06-01
  • 发明人: Ishikawa, Yoshihiro
  • 申请人： Mitsumi Electric Co., Ltd.
  • 申请人地址： 2-11-2, Tsurumaki Tama-shi, Tokyo 206-8567 JP
  • 专利权人： Mitsumi Electric Co., Ltd.
  • 当前专利权人： Mitsumi Electric Co., Ltd.
  • 当前专利权人地址： 2-11-2, Tsurumaki Tama-shi, Tokyo 206-8567 JP
  • 代理机构： Eddowes, Simon
  • 优先权： JP2003397472 20031127
  • 主分类号： G02B6/12
  • IPC分类号： G02B6/12
Method of manufacturing a branch optical waveguide
摘要：
A method of manufacturing a branch optical waveguide (42) is disclosed. According to the method, a resist pattern (12A) is formed by performing exposure using an exposure mask (22A), and a core (44) is formed by performing etching on a layer (10) of a polymer resin material using the resist pattern (12A) as a mask. As a result, the branch optical waveguide (42) is manufactured. In this method, the exposure mask (22A) includes a main body mask part (22Aa) and first and second branch mask parts (22Ab,22Ac) branching off therefrom at a branch point part (22Ad). The branch point part (22Ad) has a shape where first, second, and third linear edge parts (51,52,53) connect the edge part (22Ab1) of the first branch mask part (22Ab) and the edge part (22Ac1) of the second branch mask part (22Ac) in a trapezoidal, triangular or arc-shaped manner.
摘要（中）：

公开了一种制造分支光波导（42）的方法。 根据该方法，通过使用曝光掩模（22A）进行曝光来形成抗蚀剂图案（12A），并且通过使用抗蚀剂图案对聚合物树脂材料的层（10）进行蚀刻来形成芯（44） （12A）作为掩模。 结果，制造了分支光波导（42）。 在该方法中，曝光掩模（22A）包括在分支点部分（22Ad）从其分支的主体掩模部分（22Aa）和第一和第二分支掩模部分（22Ab，22Ac）。 分支点部分（22Ad）具有第一，第二和第三线性边缘部分（51,52,53）连接第一分支掩模部分（22Ab）的边缘部分（22Ab1）和边缘部分（22Ac1）的形状， 的第二分支掩模部分（22Ac）以梯形，三角形或弧形的方式。

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