发明授权
- 专利标题： Fluid-switchable flow rate control system
- 专利标题（中）： 流量控制装置具有开关的流体的功能
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申请号： EP05076130.3申请日： 1999-08-09
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公开(公告)号： EP1564615B1公开(公告)日： 2008-03-12
- 发明人: Ohmi, Tadahiro , Kagatsume, Satoshi c/o Tokyo Electron Ltd , Hirose, Jun c/o Tokyo Electron Ltd , Nishino, Kouji c/o Fujikin Inc
- 申请人： FUJIKIN INCORPORATED , TOKYO ELECTRON LIMITED , Ohmi, Tadahiro
- 申请人地址： 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku Osaka-shi, Osaka-fu 550-0012 JP
- 专利权人： FUJIKIN INCORPORATED,TOKYO ELECTRON LIMITED,Ohmi, Tadahiro
- 当前专利权人： FUJIKIN INCORPORATED,TOKYO ELECTRON LIMITED,Ohmi, Tadahiro
- 当前专利权人地址： 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku Osaka-shi, Osaka-fu 550-0012 JP
- 代理机构： Hector, Annabel Mary
- 优先权： JP23665698 19980824
- 主分类号： G05D7/06
- IPC分类号： G05D7/06
公开/授权文献
- EP1564615A1 Fluid-switchable flow rate control system 公开/授权日：2005-08-17
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