发明授权
- 专利标题： Vacuum pumping system
- 专利标题（中）： 真空系统
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申请号： EP04425172.6申请日： 2004-03-15
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公开(公告)号： EP1577559B1公开(公告)日： 2007-03-07
- 发明人: Maccarrone, Cristian , Titolo, Massimiliano
- 申请人： VARIAN S.p.A.
- 申请人地址： Via Varian 54 10040 Leini' (Torino) IT
- 专利权人： VARIAN S.p.A.
- 当前专利权人： VARIAN S.p.A.
- 当前专利权人地址： Via Varian 54 10040 Leini' (Torino) IT
- 代理机构： Robba, Pierpaolo
- 主分类号： F04C28/00
- IPC分类号： F04C28/00 ; F04B49/06
公开/授权文献
- EP1577559B2 Vacuum pumping system 公开/授权日：2016-11-16
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