发明公开
EP1599722A2 INSPECTION APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS IN TRANSPARENT SUBSTRATES
审中-公开
回顾设备，用于透明基板厘定缺陷
- 专利标题： INSPECTION APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS IN TRANSPARENT SUBSTRATES
- 专利标题（中）： 回顾设备，用于透明基板厘定缺陷
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申请号： EP04717517.9申请日： 2004-03-04
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公开(公告)号： EP1599722A2公开(公告)日： 2005-11-30
- 发明人: GAHAGAN, Kevin , HILTNER, Jason
- 申请人： Corning Incorporated
- 申请人地址： Life Sciences, 45 Nagog Park Acton, MA 01720 US
- 专利权人： Corning Incorporated
- 当前专利权人： Corning Incorporated
- 当前专利权人地址： Life Sciences, 45 Nagog Park Acton, MA 01720 US
- 代理机构： Boon, Graham Anthony
- 优先权： US382689 20030305
- 国际公布： WO2004079406 20040916
- 主分类号： G01N21/896
- IPC分类号： G01N21/896
摘要：
Methods, apparatus and systems for the detection of defects in transparent substrates such as glass sheets are disclosed. The methods, apparatus and systems are capable of detecting optical path length variations in transparent substrates smaller than 100 nm.
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