发明授权
- 专利标题： TEMPERATURE COMPENSATION FOR SILICON MEMS RESONATOR
- 专利标题（中）： 温度补偿硅MEMS谐振器
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申请号： EP04759781.0申请日： 2004-03-30
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公开(公告)号： EP1618658B1公开(公告)日： 2015-05-13
- 发明人: LUTZ, Markus , PARTRIDGE, Aaron
- 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权： US414793 20030416
- 国际公布： WO2004095696 20041104
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; H03H9/02 ; H03H9/24
公开/授权文献
- EP1618658A2 TEMPERATURE COMPENSATION FOR SILICON MEMS RESONATOR 公开/授权日：2006-01-25
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