发明公开
- 专利标题： Elément en couches minces et procédé de fabrication associé
- 专利标题（英）： Thin film device and method of fabrication
- 专利标题（中）： 薄膜器件及其制造
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申请号： EP05291731.7申请日： 2005-08-16
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公开(公告)号： EP1628332A3公开(公告)日： 2015-06-24
- 发明人: Barbe, Jean-Charles , Vinet, Maud , Faynot, Olivier
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构： Santarelli
- 优先权： FR0408989 20040819
- 主分类号： H01L21/265
- IPC分类号： H01L21/265 ; H01L29/66
摘要：
Un procédé de fabrication d'un élément en couches minces, avec une couche (2) d'un premier matériau qui porte un motif (8) d'un second matériau, comprend une étape de dopage par implantation d'une espèce chimique sur une partie au moins de l'ensemble couche-motif de manière à stabiliser le motif sur la couche.
公开/授权文献
- EP1628332B1 Procédé de fabrication d'un élément en couches minces 公开/授权日：2022-06-22
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