发明授权
- 专利标题： Apparatus and method of heterodyne interferometry for imaging
- 专利标题（中）： 装置和方法，用于图像形成的由外差干涉的手段
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申请号： EP05016780.8申请日： 2005-08-02
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公开(公告)号： EP1630520B1公开(公告)日： 2013-04-10
- 发明人: Chan, Kinpui , Akiba, Masahiro
- 申请人： Kabushiki Kaisha TOPCON
- 申请人地址： 75-1, Hasunuma-cho, Itabashi-ku Tokyo 174-8580 JP
- 专利权人： Kabushiki Kaisha TOPCON
- 当前专利权人： Kabushiki Kaisha TOPCON
- 当前专利权人地址： 75-1, Hasunuma-cho, Itabashi-ku Tokyo 174-8580 JP
- 代理机构： Vossius & Partner
- 优先权： JP2004226923 20040803
- 主分类号： G01B11/24
- IPC分类号： G01B11/24 ; G01B9/02
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