发明授权
- 专利标题： MULTI-MODE CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
- 专利标题（中）： 多模式带电粒子束装置
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申请号： EP04786127.3申请日： 2004-07-28
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公开(公告)号： EP1652209B1公开(公告)日： 2014-04-16
- 发明人: CHAO, Henry, Shih-Ming , TREVOR, Colin, Geoffrey , MOONEY, Paul, Edward , KRAUS, Bernd
- 申请人： Gatan, Inc.
- 申请人地址： 5933 Coronado Lane Pleasanton, CA 94588-3334 US
- 专利权人： Gatan, Inc.
- 当前专利权人： Gatan, Inc.
- 当前专利权人地址： 5933 Coronado Lane Pleasanton, CA 94588-3334 US
- 代理机构： Ahmad, Sheikh Shakeel
- 优先权： US492138P 20030801; US878659 20040628
- 国际公布： WO2005013309 20050210
- 主分类号： H01J49/44
- IPC分类号： H01J49/44 ; H01J37/22 ; H01J37/26
公开/授权文献
- EP1652209A2 MULTI-MODE CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE 公开/授权日：2006-05-03
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