- 专利标题： METHOD FOR PRODUCING AND CLEANING A SILICON CARBIDE PRODUCT
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申请号： EP04747456.4申请日： 2004-07-07
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公开(公告)号： EP1666645B1公开(公告)日： 2019-06-19
- 发明人: OHMI, Tadahiro , TERAMOTO, Akinobu , SANO, Sumio
- 申请人： Admap, Inc. , Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. , Ohmi, Tadahiro
- 申请人地址： 3-16-2, Tamahara Tamano-shi, Okayama 706-0014 JP
- 专利权人： Admap, Inc.,Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.,Ohmi, Tadahiro
- 当前专利权人： Admap, Inc.,Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.,Ohmi, Tadahiro
- 当前专利权人地址： 3-16-2, Tamahara Tamano-shi, Okayama 706-0014 JP
- 代理机构： Glawe, Delfs, Moll
- 优先权： JP2003281801 20030729
- 国际公布： WO2005010244 20050203
- 主分类号： C30B29/36
- IPC分类号： C30B29/36 ; H01L21/304 ; H01L21/336 ; H01L29/78 ; H01L21/02 ; H01L21/314 ; H01L29/16
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