发明公开
EP1717854A3 Halbleiterchip mit einer Lötschichtenfolge und Verfahren zum Löten eines Halbleiterchips
审中-公开
半导体芯片与焊料层序列和焊接的半导体芯片的方法
- 专利标题: Halbleiterchip mit einer Lötschichtenfolge und Verfahren zum Löten eines Halbleiterchips
- 专利标题(英): Semiconductor device with a plurality of solding layers and process therefor
- 专利标题(中): 半导体芯片与焊料层序列和焊接的半导体芯片的方法
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申请号: EP06004421.1申请日: 2006-03-03
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公开(公告)号: EP1717854A3公开(公告)日: 2011-05-11
- 发明人: Plössl, Andreas , Illek, Stefan , Grolier, Vincent
- 申请人: OSRAM Opto Semiconductors GmbH
- 申请人地址: Leibnizstrasse 4 93055 Regensburg DE
- 专利权人: OSRAM Opto Semiconductors GmbH
- 当前专利权人: OSRAM Opto Semiconductors GmbH
- 当前专利权人地址: Leibnizstrasse 4 93055 Regensburg DE
- 代理机构: Epping - Hermann - Fischer
- 优先权: DE102005029246 20050623; DE102005015147 20050331
- 主分类号: H01L23/373
- IPC分类号: H01L23/373 ; H01L33/00
摘要:
Bei einem Halbleiterchip (1), auf den eine zur Herstellung einer Lötverbindung vorgesehene Schichtenfolge (2) aufgebracht ist, wobei die Schichtenfolge (2) eine Lotschicht (15) und eine vom Halbleiterchip (1) aus gesehen der Lotschicht (15) nachfolgende Oxidationsschutzschicht (17) umfasst, ist zwischen der Lotschicht (15) und der Oxidationsschutzschicht (17) eine Barriereschicht (16) enthalten. Dadurch wird verhindert, dass ein Bestandteil der Lotschicht (15) vor dem Lötvorgang durch die Oxidationsschutzschicht (17) diffundiert und dort eine für die Herstellung einer Lötverbindung nachteilige Oxidation bewirkt.
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