发明授权
- 专利标题: Methods of preparing boranes
- 专利标题(中): 制备硼烷的方法
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申请号: EP05705986.7申请日: 2005-01-21
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公开(公告)号: EP1723154B1公开(公告)日: 2017-08-23
- 发明人: SPIELVOGEL, Bernard , COOK, Kevin
- 申请人: Semequip, Inc.
- 申请人地址: 34 Sullivan Road, Unit 21 North Billerica, MA 01862 US
- 专利权人: Semequip, Inc.
- 当前专利权人: Semequip, Inc.
- 当前专利权人地址: 34 Sullivan Road, Unit 21 North Billerica, MA 01862 US
- 代理机构: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB
- 优先权: US538893P 20040122
- 国际公布: WO2005072252 20050811
- 主分类号: C01B6/10
- IPC分类号: C01B6/10 ; H01L21/265
公开/授权文献
- EP1723154A2 ISOTOPICALLY-ENRICHED BORANES AND METHODS OF PREPARING THEM 公开/授权日:2006-11-22
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