发明公开
EP1750099A1 Dispositif et procédé de mesure de la position relative d'un marquage périodique ou quasi périodique
有权
装置和方法，用于测量的周期性或准周期性的标记的相对位置
- 专利标题： Dispositif et procédé de mesure de la position relative d'un marquage périodique ou quasi périodique
- 专利标题（英）： Device and method for measuring the relative position of periodic or quasi-periodic marks
- 专利标题（中）： 装置和方法，用于测量的周期性或准周期性的标记的相对位置
-
申请号： EP05291654.1申请日： 2005-08-03
-
公开(公告)号： EP1750099A1公开(公告)日： 2007-02-07
- 发明人: Franzi, Edoardo , Heim, Pascal , Masa, Péter
- 申请人： CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA Recherche et Développement
- 申请人地址： Rue Jaquet-Droz 1 2007 Neuchâtel CH
- 专利权人： CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA Recherche et Développement
- 当前专利权人： CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA Recherche et Développement
- 当前专利权人地址： Rue Jaquet-Droz 1 2007 Neuchâtel CH
- 代理机构： Bonnet, Michel
- 主分类号： G01D5/244
- IPC分类号： G01D5/244
摘要：
Ce dispositif de mesure de la position relative d'un motif (10) comportant un marquage spatialement périodique ou quasi périodique par une mesure de décalage de phase à l'aide d'au moins un signal de référence comporte un réseau (26) de détecteurs (24) d'ondes électromagnétiques (22) rétro diffusées par le marquage pour la génération d'un signal de marquage et une unité (36) de calcul d'un déphasage du signal de marquage par rapport au signal de référence.
Il comporte en outre des moyens (36a) d'estimation d'une fréquence spatiale du marquage et des moyens (36b) de réglage automatique de la fréquence du signal de référence en fonction de la fréquence spatiale estimée.
Il comporte en outre des moyens (36a) d'estimation d'une fréquence spatiale du marquage et des moyens (36b) de réglage automatique de la fréquence du signal de référence en fonction de la fréquence spatiale estimée.
公开/授权文献
信息查询
