发明授权
- 专利标题： Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen
- 专利标题（英）： An apparatus and method for the production of micro structures
- 专利标题（中）： 装置和方法，用于制造微结构
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申请号： EP06026120.3申请日： 2005-04-13
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公开(公告)号： EP1764185B1公开(公告)日： 2008-07-09
- 发明人: Ostendarp, Heinrich
- 申请人： Schott AG
- 申请人地址： Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz DE
- 专利权人： Schott AG
- 当前专利权人： Schott AG
- 当前专利权人地址： Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz DE
- 代理机构： Gahlert, Stefan
- 优先权： DE102004020990 20040423; DE202004011815U 20040728
- 主分类号： B23Q15/007
- IPC分类号： B23Q15/007
公开/授权文献
- EP1764185A3 Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen 公开/授权日：2007-05-09
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