发明公开
- 专利标题： Illumination system
- 专利标题（中）： 照明系统
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申请号： EP06255958.8申请日： 2006-11-22
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公开(公告)号： EP1793278A2公开(公告)日： 2007-06-06
- 发明人: Visser, Huibert , Klinkhamer, Jacob Fredrik Friso , Ryzhikov, Lev , Coston, Scott , Joobeur, Adel , Vink, Henri Johannes Petrus , Shmarev, Yevgeniy Konstantinovich
- 申请人： ASML Netherlands B.V. , ASML Holdings N.V.
- 申请人地址： De Run 6501 5504 DR Veldhoven NL
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.,ASML Holdings N.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.,ASML Holdings N.V.
- 当前专利权人地址： De Run 6501 5504 DR Veldhoven NL
- 代理机构： Roberts, Peter David
- 优先权： US292275 20051202
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
A system and method are used to substantially homogenize and remove at least some coherence from a beam of radiation.
公开/授权文献
- EP1793278A3 Illumination system 公开/授权日：2007-12-05
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IPC分类:
