- 专利标题： Method of manufacturing a semiconductor device with a heterojunction
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申请号： EP07013139.6申请日： 2007-07-04
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公开(公告)号： EP1876638B1公开(公告)日： 2019-02-27
- 发明人: Hayashi, Tetsuya , Hoshi, Masakatsu , Shimoida, Yoshio , Tanaka, Hideaki , Yamagami, Shigeharu
- 申请人： Nissan Motor Co., Ltd.
- 申请人地址： 2, Takara-cho Kanagawa-ku Yokohama-shi, Kanagawa-ken JP
- 专利权人： Nissan Motor Co., Ltd.
- 当前专利权人： Nissan Motor Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 2, Takara-cho Kanagawa-ku Yokohama-shi, Kanagawa-ken JP
- 代理机构： Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
- 优先权： JP2006186560 20060706
- 主分类号： H01L21/336
- IPC分类号： H01L21/336 ; H01L29/78 ; H01L29/267 ; H01L29/16 ; H01L29/06
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