- 专利标题： PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DEPLACER UN ELEMENT A ENTRAINER UTILISANT UN ELEMENT ACTIONNEUR FORME PAR GRAVURE DANS UN MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR
- 专利标题（英）： METHOD AND DEVICE FOR MOVING AN ELEMENT TO BE DRIVEN USING AN ACTUATING ELEMENT FORMED BY ETCHING IN A SEMICONDUCTOR MATERIAL
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申请号： EP06708779.1申请日： 2006-03-15
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公开(公告)号： EP1878108B1公开(公告)日： 2020-04-22
- 发明人: LE MOAL, Patrice , BOURBON, Gilles , MINOTTI, Patrice , JOSEPH, Eric
- 申请人： Silmach
- 申请人地址： 16 Rue Sophie Germain 25000 Besançon FR
- 专利权人： Silmach
- 当前专利权人： Silmach
- 当前专利权人地址： 16 Rue Sophie Germain 25000 Besançon FR
- 代理机构： Regimbeau
- 优先权： FR0502699 20050318
- 国际公布： WO2006097491 20060921
- 主分类号： H02N1/00
- IPC分类号： H02N1/00
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