发明授权
- 专利标题： DETECTION DEVICE AND INSPECTION DEVICE
- 专利标题（中）： 检测装置及检测装置
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申请号： EP06782616.4申请日： 2006-08-10
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公开(公告)号： EP1914787B1公开(公告)日： 2015-02-11
- 发明人: HATAKEYAMA, Masahiro , YOSHIKAWA, Shoji , SUEMATSU, Kenichi , KARIMATA, Tsutomu , NOJI, Nobuharu
- 申请人： EBARA CORPORATION
- 申请人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo 144-8510 JP
- 专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo 144-8510 JP
- 代理机构： Wagner, Karl H.
- 优先权： JP2005234079 20050812
- 国际公布： WO2007020866 20070222
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; H01J37/28 ; H01L21/66 ; G01R31/302
公开/授权文献
- EP1914787A1 DETECTION DEVICE AND INSPECTION DEVICE 公开/授权日：2008-04-23
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