发明公开
EP1926138A4 DEVICE IDENTIFYING METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND ELECTRONIC DEVICE
审中-公开
一种识别设备,用于生产设备和电子设备
- 专利标题: DEVICE IDENTIFYING METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND ELECTRONIC DEVICE
- 专利标题(中): 一种识别设备,用于生产设备和电子设备
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申请号: EP05772572申请日: 2005-08-18
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公开(公告)号: EP1926138A4公开(公告)日: 2011-06-22
- 发明人: OKAYASU TOSHIYUKI , SUGAWA SHIGETOSHI , TERAMOTO AKINOBU
- 申请人: ADVANTEST CORP , NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNVERSITY
- 专利权人: ADVANTEST CORP,NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNVERSITY
- 当前专利权人: ADVANTEST CORP,NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNVERSITY
- 优先权: JP2005015093 2005-08-18
- 主分类号: H01L23/544
- IPC分类号: H01L23/544
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