- 专利标题： METHOD OF FORMING A MULTILAYER STRUCTURE
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申请号： EP06813033.5申请日： 2006-11-20
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公开(公告)号： EP1948850B1公开(公告)日： 2019-04-17
- 发明人: FREDENBERG, Mikael , MÖLLER, Patrik , WIWEN-NILSSON, Peter
- 申请人： Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST)
- 申请人地址： 5, avenue des Hauts-Fourneaux 4362 Esch-sur-Alzette LU
- 专利权人： Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST)
- 当前专利权人： Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST)
- 当前专利权人地址： 5, avenue des Hauts-Fourneaux 4362 Esch-sur-Alzette LU
- 代理机构： Lecomte & Partners
- 优先权： SE0502538 20051118; SE0502539 20051118
- 国际公布： WO2007058603 20070524
- 主分类号： C25D5/02
- IPC分类号： C25D5/02 ; C25D21/08 ; C25D21/11 ; C25F3/14 ; H01L21/288 ; H01L21/3213 ; H01L21/768
公开/授权文献
- EP1948850A1 METHOD OF FORMING A MULTILAYER STRUCTURE 公开/授权日：2008-07-30
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