发明授权
- 专利标题： Polishing apparatus
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申请号： EP08001664.5申请日： 2008-01-29
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公开(公告)号： EP1952945B1公开(公告)日： 2010-09-15
- 发明人: Saito, Kenichiro , Nabeya, Osamu , Nagata, Kimihide , Togawa, Tetsuji
- 申请人： EBARA CORPORATION
- 申请人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo JP
- 专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo JP
- 代理机构： Carstens, Dirk Wilhelm
- 优先权： JP2007019634 20070130
- 主分类号： B24B37/04
- IPC分类号： B24B37/04
公开/授权文献
- EP1952945A3 Polishing apparatus 公开/授权日：2008-08-27
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