发明授权
- 专利标题: FABRICATION METHOD OF AN ULTRA-SENSITIVE METAL OXIDE GAS SENSOR
- 专利标题(中): 超灵敏金属氧化物气体传感器的制造方法
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申请号: EP06835349.9申请日: 2006-12-22
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公开(公告)号: EP1971853B1公开(公告)日: 2013-07-24
- 发明人: KIM, Il-Doo , HONG, Jae-Min , KIM, Dong-Young , JO, Seong-Mu , TULLER, Harry, L. , ROTHSCHILD, Avner
- 申请人: Korea Institute of Science and Technology
- 申请人地址: 39-1 Hawolgok-dong, Sungbook-ku Seoul 136-791 KR
- 专利权人: Korea Institute of Science and Technology
- 当前专利权人: Korea Institute of Science and Technology
- 当前专利权人地址: 39-1 Hawolgok-dong, Sungbook-ku Seoul 136-791 KR
- 代理机构: Kampfenkel, Klaus
- 优先权: KR20050129096 20051223; KR20060113002 20061115
- 国际公布: WO2007073111 20070628
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12 ; B82Y15/00
公开/授权文献
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