Eine begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) für eine Vorrichtung zur Positionierung und Befestigung von zu bearbeitenden Werkstücken (300, 310, 320, 340) auf der Oberseite einer im Wesentlichen ebenen, Öffnungen (115) aufweisenden Grundplatte (110), wobei die Öffnungen (115) an der Unterseite der Grundplatte (110) mit einer Vakuumpumpe (118) fluidisch verbunden sind und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) zwischen dem Werkstück (300, 310, 320, 340) und der Oberseite der Grundplatte (110) angeordnet ist, und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) wenigstens auf ihrer dem Werkstück zugewandten Seite Dichtelemente (140, 142; 146; 147; 148) aufweist, die eine Mehrzahl von jeweils geschlossenen, abgedichteten Saugbereichen (145; 146'; 147'; 148') zwischen Werkstück (300, 310, 320, 340) und Grundplatte (120) ausbilden, ist dadurch gekennzeichnet, dass die begrenzt luftdurchlässige Schicht aus einem Material besteht, das durch das Trägermaterial der begrenzt luftdurchlässigen Schicht so ausgebildet ist, dass sich eine maximale Durchströmbarkeit senkrecht zur Grundplatte einstellt.