发明公开
EP2006901A2 Procédé de fabrication d'une connexion électrique à base de nanotubes de carbone
审中-公开
一种用于碳纳米管的基础上产生电终端处理
- 专利标题： Procédé de fabrication d'une connexion électrique à base de nanotubes de carbone
- 专利标题（英）： Method of producing an electric connection based on carbon nanotubes
- 专利标题（中）： 一种用于碳纳米管的基础上产生电终端处理
-
申请号： EP08354040.1申请日： 2008-06-17
-
公开(公告)号： EP2006901A2公开(公告)日： 2008-12-24
- 发明人: Coiffic, Jean-Christophe
- 申请人： Commissariat à l'Energie Atomique
- 申请人地址： 25, rue Leblanc Immeuble "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Energie Atomique
- 当前专利权人： Commissariat à l'Energie Atomique
- 当前专利权人地址： 25, rue Leblanc Immeuble "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构： Jouvray, Marie-Andrée
- 优先权： FR0704464 20070622
- 主分类号： H01L21/768
- IPC分类号： H01L21/768 ; H01L23/532
摘要：
Au moins un orifice, comportant un fond et des parois latérales est formé dans une couche (5) en matériau isolant séparant deux couches (4, 12) en matériau métallique. Une couche de catalyseur (9) est ensuite déposée. Puis une couche inhibitrice (11) est formée par dépôt directionnel sur les parois de l'orifice et sur la couche en matériau isolant (5), laissant libre uniquement ta partie de la couche de catalyseur (9) qui est disposée dans le fond de l'orifice. Des nanotubes sont ensuite formés dans ledit orifice et connectent électriquement les deux couches (4, 12) en matériau métallique,
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
