发明授权
EP2293318B1 Target for X-ray generation, X-ray generator, and method for producing target for X-ray generation
有权
靶的X射线产生，X射线发生器和用于产生目标的X射线产生方法
- 专利标题： Target for X-ray generation, X-ray generator, and method for producing target for X-ray generation
- 专利标题（中）： 靶的X射线产生，X射线发生器和用于产生目标的X射线产生方法
-
申请号： EP10174782.2申请日： 2010-09-01
-
公开(公告)号： EP2293318B1公开(公告)日： 2013-11-06
- 发明人: Okumura, Katsuya , Kadosawa, Katsuji , Kiyomoto, Tomofumi , Suyama, Motohiro , Ishii, Atsushi
- 申请人： Tokyo Electron Limited , Hamamatsu Photonics K.K.
- 申请人地址： 3-1 Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-6325 JP
- 专利权人： Tokyo Electron Limited,Hamamatsu Photonics K.K.
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited,Hamamatsu Photonics K.K.
- 当前专利权人地址： 3-1 Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-6325 JP
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser
- 优先权： JP2009204891 20090904
- 主分类号： H01J35/12
- IPC分类号： H01J35/12
公开/授权文献
信息查询
