发明公开
- 专利标题: RADIANT TUBE BURNER DEVICE AND HEAT STORING ELEMENT UNIT CAPABLE OF BEING MOUNTED TO RADIANT TUBE BURNER
- 专利标题(中): 蓝光刻录机装置及附件蓄热体到Jet燃烧装置
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申请号: EP09794413申请日: 2009-07-06
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公开(公告)号: EP2299175A4公开(公告)日: 2015-03-11
- 发明人: TSUTSUMI MICHIAKI
- 申请人: JP STEEL PLANTECH CO
- 专利权人: JP STEEL PLANTECH CO
- 当前专利权人: JP STEEL PLANTECH CO
- 优先权: JP2008176926 2008-07-07
- 主分类号: F23D14/66
- IPC分类号: F23D14/66 ; F23C3/00 ; F23D14/12 ; F23L15/02
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