- 专利标题: Tunnel field effect transistor with improved subthreshold swing
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申请号: EP10174506.5申请日: 2010-08-30
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公开(公告)号: EP2309544B1公开(公告)日: 2019-06-12
- 发明人: Verhulst, Anne S.
- 申请人: IMEC VZW
- 申请人地址: Kapeldreef 75 3001 Leuven BE
- 专利权人: IMEC VZW
- 当前专利权人: IMEC VZW
- 当前专利权人地址: Kapeldreef 75 3001 Leuven BE
- 代理机构: Hertoghe, Kris Angèle Louisa
- 优先权: US249186P 20091006
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L21/331 ; H01L29/423 ; H01L29/06
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