发明授权
EP2355137B1 Use of a composition for forming p-type diffusion layer and method for forming p-type diffusion layer
有权
使用的组合物的用于形成p型扩散层形成的p型扩散层和方法
- 专利标题： Use of a composition for forming p-type diffusion layer and method for forming p-type diffusion layer
- 专利标题（中）： 使用的组合物的用于形成p型扩散层形成的p型扩散层和方法
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申请号： EP11151993.0申请日： 2011-01-25
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公开(公告)号： EP2355137B1公开(公告)日： 2016-05-25
- 发明人: Machii, Youichi , Yoshida, Masato , Nojiri, Takeshi , Okaniwa, Kaoru , Iwamuro, Mitsunori , Adachi, Shuuichirou
- 申请人： Hitachi Chemical Co., Ltd.
- 申请人地址： 1-1, Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku Tokyo 163-0449 JP
- 专利权人： Hitachi Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 1-1, Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku Tokyo 163-0449 JP
- 代理机构： Hoffmann Eitle
- 优先权： JP2010022462 20100203; JP2011005312 20110113
- 主分类号： H01L21/22
- IPC分类号： H01L21/22 ; H01L21/225 ; H01L21/223 ; H01L31/18
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